Though the optical properties of thin layers of magnesium fluoride have already been studied, it seemed interesting to study this again because of the divergence in the results announced by different authors. The results of this work are also studied in the long wave length limit of surface roughness and compared with results, obtained earlier by Ohlídal and co-workers. The reflectance, transmittance and ellipsometric coefficient are expressed in terms of the constitutive coefficients, for arbitrary angles of incidence. Formulae for these coefficients are derived in terms of the height-height correlation functions of the upper and lower surfaces of the film, and its average thickness. These properties are described by a small number of electromagnetic constitutive coefficients. A general theory, of second order in the film thickness and surface roughness, is developed of the optical properties of a thin continuous film. Les résultats de ce travail sont aussi étudiés dans la limite des grandes longueurs d'onde de la rugosité superficielle, et comparés aux résultats d'Ohlídal et collaborateurs, obtenus précédemment. La réflectivité, la transmittivité et les coefficients ellipsométriques sont exprimés en fonction des coefficients constitutifs, pour des angles d'incidence arbitraires. On établit des relations entre ces coefficients, les fonctions de corrélation des hauteurs des surfaces supérieure et inférieure du film, et. Ces propriétés sont décrites par un petit nombre de coefficients constitutifs électromagnétiques. On développe une théorie générale, du deuxième ordre par rapport à l'épaisseur et à la rugosité superficielle, des propriétés optiques d'un film mince continu. La película homogénea está depositada sobre un sustrato de dimensión semi-infinita. El sistema a considerar se presenta en la fig1. TEORIA El silicio poroso (SP) esta compuesto por dos fases: aire y nanocristales de silicio se puede tratar como un medio efectivo homogéneo, debido al tamaño pequeño de los nanocristales de SP. Se presentan resultados obtenidos en dos muestras fabricadas a 25 y 35 minutos de anodización. El método se basa en la reproducción teórica de los espectros experimentales de reflectancia obtenidos entre 300 y 1000 nm. En este trabajo se propone un método de calculo que permite obtener las propiedades ópticas (índice de refracción efectivo η 2 (λ), coeficiente de absorción α(λ), el espesor y la rugosidad de la película de silicio poroso. Independientemente si se usa elipsometría o reflectancia, la obtención de las constantes ópticas se realiza a través de la reproducción teórica de los espectros experimentales. La determinación de las constantes ópticas en el silicio poroso se realiza preferiblemente a través de medidas de reflectancia o elipsometría ya que son técnicas no destructivas y pueden utilizarse con películas depositadas sobre sustratos no transparentes. INTRODUCCIÓN Luego de que Canham reportó una intensa señal de fotoluminiscencia en el silicio poroso, se han realizado grandes esfuerzos, destinados a explicar el comportamiento óptico de este material. Las muestras se fabricaron por el método de anodización electroquímica en solución de HF+IA, usando sustratos de silicio tipo-p, y resistividad entre 0.7 – 1 Ω-cm, Se prueba el método en diferentes muestras fabricadas con diferentes tiempos de anodización. Con el método se puede obtener el espesor promedio de la película de SP, y se analiza la participación del sustrato en la absorción del sistema óptico. En la parte real del índice de refracción del SP se usa el modelo del oscilador armónico simple, propuesto por Wemple-DiDomenico. Se utiliza el método de Sumación y el modelo de Davies-Bennett, para obtener la expresión teórica de la reflectancia. En el sistema óptico usado en este modelo, el SP es considerado como una película delgada homogénea y absorbente, depositado sobre un sustrato de silicio de dimensión semi-infinito. RESUMEN En este trabajo se propone un método para calcular las constantes ópticas en películas delgadas de silicio poroso (SP), a partir de la simulación teórica de los espectros experimentales de reflectancia a incidencia normal.
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